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干式真空泵如何進行優(yōu)化選擇

干式真空泵如何進行優(yōu)化選擇

干式真空泵是未來行業(yè)發(fā)展的趨勢,雖然目前還沒有使用,除了價格偏高之外,還有干式真空泵用戶不到位,看不到經濟效益帶來的企業(yè),小編這里專注于如何使干式真空泵優(yōu)化選擇?

有了這些不同類型的干式真空泵,我們一直都在渴望能夠減小其物理尺寸。然而,這與真空泵的抽氣速度相矛盾,因為真空泵的抽氣速率與真空泵的體積成比例。小的物理尺寸意味著音量也很小。當然,影響真空泵抽速的另一個重要因素是速度。為了使小型真空泵的抽吸速度與大型真空泵的抽吸速度一致,需要提高速度。而要改變真空泵的轉速有兩種方法,一種是改變電源的頻率,即使用變頻器;二是改變變速箱的比例。其中,使用變頻器的好處是可以提供一個閉環(huán)控制,但容易導致重載下的轉矩損失。改變齒輪箱的齒輪比是一個非常經濟的方法,當然它只能提供單一的速度不能被控制。

現在,你可以看到干式真空泵有這么多不同的設計,各有各的特點和優(yōu)缺點。歷史上,使用成本一直是影響人們選擇真空泵的重要因素。越來越多的真空泵用戶意識到,真空泵的穩(wěn)定性也應該被考慮在內。因為真空泵意外錯誤會造成機器使用效率降低,影響晶圓的生產和交貨,甚至造成晶圓廢料和其他零件的加工損壞。由于螺桿設計采用單級設計,因此與多級泵(如球縫,爪和組合)相比,所用零件的數量可減少多達60%。這對穩(wěn)定性和未來的維護成本來說是一個很大的優(yōu)勢。

總的來說,如果用戶認為耗電量對他來說是最重要的,那么選擇一個內部加壓螺釘可能是一個不錯的選擇,而氮含量對他來說是最不重要的。但總的來說,對尾氣處理的要求越來越嚴格,減少未來使用的氮氣量就顯得尤為重要。如果您想要處理各種各樣的半導體工藝,而不用一種簡單的庫存控制泵來改變它們,外部壓緊螺絲是最好的選擇。

根據情況,結合以上所有設計類型的優(yōu)勢必須是最大的理想的選擇,但還不可能。 因此,用戶需要知道干泵的設計有多種不同的設計類型,然后根據自己的工藝特點來了解不同類型泵設計的影響。 這種選擇可以使其使用成本最小化,并獲得更長的使用壽命和穩(wěn)定的真空系統(tǒng)。

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