English
Pусский目前各種真空泵的發(fā)展愈來愈受到真空應用場合的影響，一般的真空系統(tǒng)無法滿足清潔無油及耐腐蝕的要求，因此近年來干式真空泵市場需求量很大,真空獲得產品已經出現更新換代的局面,大量的有油真空系統(tǒng)已被無油清潔的真空系統(tǒng)所代替。國外幾乎每一家較大的真空公司都生產各種不同型式的干式真空泵.螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵,是20世紀90年代初期出現的一種理想的泵種,以其抽速范圍寬、結構簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優(yōu)點得以廣泛應用。干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本目前已經成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業(yè)首選真空獲得設備，日本在螺桿壓縮機基礎上，很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉子型線，并投入市場。德國幾家真空設備公司也逐步的開發(fā)出了等螺距、變螺距轉子型線，并在轉子和機體冷卻方面做了很多研究。下面是螺桿真空泵的優(yōu)點：
a、對被抽系統(tǒng)無污染，可獲得潔凈真空
b、泵腔內無油，非常容易實現對溶劑的回收或者排入焚燒爐內焚燒。
C、結構緊湊，占地面積小。
D、單泵即可達到40Pa~5Pa的極限壓力，工作范圍較寬。
E、因工作過程中無廢油、廢水的排放，對環(huán)境無污染。
F、對冷卻水的要求較低，對于泵的冷卻，普通的循環(huán)水即可滿足要求，且冷卻水量較小。
G、根據系統(tǒng)工況配用合適的羅茨真空泵可組成干式真空泵機組，可大大提高低壓區(qū)的抽氣速率并減小功耗。
H、螺桿真空泵的級間無需通道，是直接將氣體從吸氣側推送至排氣側，在抽除可凝性氣體及粉塵等時不易堵塞且泵腔清洗非常方便：啟動泵后直接從泵口充入惰性氣體或合適的清洗劑即可將泵清洗干凈。
I、螺桿真空泵可抽取易燃、易爆、有毒等可疑性氣體。
